超声波清洗机在兼顾清洗效果和清洗全面性的同时，清洗成本也比较低，通常只有设备成本和用电成本而已，加清洗剂也只需要加少量即可。此外，超声波清洗机的操作简单，在成本上也节约了不少。

　　硅片超声波清洗机的一般故障处理：

　　一、打开清洗机开关指示灯不亮

　　1.电源开关损坏，无电源输入;检查电路是否完好，漏电开关是否闭合；

　　2.保险丝烧断了。

　　二、清洗机开关打开后指示灯亮但无超声波输出

　　1.换能器与超声电源板连接插头松动；

　　2.保险丝烧断了；

　　3.超声波发电机故障，用万用表打开电源线，检查带电线路是否接通；

　　4.传感器故障，说明振动器烧坏了需要更换。

　　三、超声波清洗机直流熔断器损坏

　　1.整流器桥或功率管烧坏；

　　2.传感器故障，说明老化和电流不稳定可能导致发电机故障。

　　四、硅片超声波清洗机的电源开关打开后，机器有超声波输出，但清洗效果很差

　　1.清洗槽内清洗液液位不合适，太深或太低；

　　2.超声频率协调不佳；

　　3.清洗槽内液体温度过高或过低；

　　4.清洗液选择不当。