这些气泡在液体中振动并快速崩溃，产生微小的擦洗动作，从而去除硅片表面的颗粒。这一过程称为空化作用，它有助于将污物层分散、乳化、剥离，达到清洗的目的。

此外，超声波清洗机还包括超声波发生器、清洗槽、输送带、过滤器、回收系统等部分。超声波发生器产生高频振动，通过清洗槽传递到清洗液中。输送带将硅片逐一输送到清洗槽内，而过滤器则用于过滤掉清洗液中的杂质。回收系统可以将清洗液循环使用，减少浪费。

注意的是，使用超声波清洗机前需要对硅片表面进行预处理，如去除表面的油脂和松散物质，以确保清洗效果。此外，该清洗机不仅适用于硅片，还可用于清洗光学设备、塑料残留物等其他材料，具有广泛的应用范围。