1、硅片甩干机整个甩干过程一般只需要5-6分钟；

　　2、设备的外露面为进口的PP板，外形美观，耐酸气腐蚀；

　　3、工作腔，旋转支架和装片盒等主要部件采用耐腐蚀不锈钢，并且表面电化学抛光处理；

　　4、旋转机构经过精密动平衡处理，保证工作时的平衡性；

　　5、采用特种减震器，精密减震和阻尼，保证系统的稳定；

　　6、硅片甩干机采用洁净化处理技术，阀门，接头和管道采用不锈钢，PEA高纯管件和聚四氟；

　　7、采用油压缸自动开门关门，平稳安全可靠；

　　8、采用油浴炉或气体加热器加热氮气，热量足，温度稳定，加热温度实时监控，并显示在液晶屏上，并有双重安全保护；

　　9、特制喷头和气液流体控制系统，全自动切换；

　　10、顶盖采用电加热板辅助加热，保证顶盖烘干后不滴水；

　　11、硅片甩干机的工作腔采用静电控制。